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聚焦离子束-扫描双束电镜

仪器编号

2018038103

规格

 

生产厂家

泰斯肯(中国)有限公司

型号

TESCAN LYRA3 FIB-SEM

制造国家

捷克

分类号

 

放置地点

逸夫生物楼南头地下室

出厂日期

 

购置日期

 

入网时间

2019/01/14

主要规格及技术指标

30 KeVSE分辨率1.2 nmBSE分辨率 2 nm;放大倍数 1 x – 1,000,000 x;工作电压:200 eV ~ 30 keV

主要功能及特色

可用于样品表面观测,切割,适用于TEM样品制备

主要附件及配置

纳米操纵器(1个),气体沉积系统(PtSiO2WF2H2O,电子束曝光系统

 

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