仪器编号

2018038103

规格

生产厂家

泰斯肯（中国）有限公司

型号

TESCAN LYRA3 FIB-SEM

制造国家

捷克

分类号

放置地点

逸夫生物楼南头地下室

出厂日期

购置日期

入网时间

2019/01/14

主要规格及技术指标

30 KeV下SE分辨率1.2 nm，BSE分辨率 2 nm；放大倍数 1 x – 1,000,000 x；工作电压：200 eV ~ 30 keV

主要功能及特色

可用于样品表面观测，切割，适用于TEM样品制备

主要附件及配置

纳米操纵器（1个），气体沉积系统（Pt，SiO₂，W，F₂，H₂O）,电子束曝光系统